不純物による半導体ウェハーの製品不良

超純水をつくるための有機物処理

「超純水をつくるための有機物処理」についてお話いたします。超純水中には、微粒子や生菌、TOC(全有機炭素)、シリカなどが一定基準以下であることが求められます。特にTOCについては可能な限りゼロに近い状態まで除去するシステムが開発されています。そのTOCの処理方法について解説します。

超純水をつくるための殺菌処理

栗「超純水をつくるための殺菌処理」についてお話いたします。菌は水中や大気中のあらゆるところに存在し、一度殺菌しても栄養となる有機物があると増殖します。そのため超純水製造システム内では、各段階で目的に応じた殺菌処理が徹底されています。その方法について解説いたします。

純水の純度

純水の純度について解説した動画です。純水の純度は、不純物質が多いと電気が通り安くなる性質を利用して、電気伝導率mS/mと比抵抗MΩ・cmで表します。最後に実践に役立つポイントについてもお伝えします。

純度の違い

水の種類ごとの純度基準、用途、つくり方について解説した動画です。水の種類ごとの純度を、比抵抗・電気伝導率、濁度、微粒子、生菌、有機物の量で説明します。また、工業用水に含まれる不純物についても、くわしく解説します。

イオン交換処理

イオン交換処理で水中のイオンを取り除く原理について解説した動画です。イオン交換樹脂の種類やイオン交換樹脂に吸着されやすいイオンの種類についても、くわしく解説します。

イオン交換樹脂

自分の持つイオンと水中のイオンを交換するのがイオン交換体で、これを不溶性・多孔性の合成樹脂で作ったものがイオン交換樹脂です。陰イオンと置き換わるアニオン型と、陽イオンと置き換わるカチオン型があり、原水から不純物を除去する特性を解説します。