相談事例 No.31

現状設備のまま、生産性を向上させ、生産量を増やしたい

排水排水その他用水・純水

ご相談内容

排水処理設備を増設することなく、製品の生産量を増やしたい。

当工場の製造部を担当しています。当工場では生産ラインで使用した水を、回収できる水と捨てる水の２種類に振り分けています。今回生産量増加の目的で製造装置の増設を計画しているのですが、この増設により、生産ラインから出てくる捨てる水の量が排水処理設備の上限に達してしまうことがわかりました。製造装置を増強し生産量を増やすためには、排水処理設備も増強するしかないのでしょうか？

業種	半導体製造（前工程）、ウエハー
生産設備	ウェットプロセスウエハー洗浄
水処理設備	純水装置、排水回収設備、排水処理設備

KCRセンターからの解決策

ウエハー洗浄リンス排水の振り分けを最適化し、排水回収量を増加させることで、生産量を増やすことができる可能性があります。

このたびは、KCRセンターにご相談いただきありがとうございます。

排水量が排水処理装置受け入れ量の上限に達してしまっているとのことですね。

ウエハー洗浄リンス排水を無駄に捨ててしまっている可能性があります。洗浄リンス排水の振り分け方法を見直すことで、洗浄リンス排水をムダなく回収することができる場合があります。回収水量を上げることで、排水処理装置への排水負荷量を削減できます。これで排水処理装置の受け入れ余裕ができ、その分洗浄工程で使用できる水量を増やせることで、製品の生産量を増やせることが期待できます。

通常の洗浄排水振り分け方法と、クリタが開発した新しい振り分け方法

通常、洗浄リンス排水の振り分けは電気伝導率、あるいは抵抗率を指標として行っています。この振り分けを排水処理設備の負荷を測定する新指標^※で行うことで、洗浄リンス排水の振り分けを最適化し、排水を無駄に捨てることがなくなり、洗浄工程で使用できる水量を増加させ、生産量の増加を実現することができる可能性があります。

※新指標・・・当社におけるノウハウであり、特許出願中です。