機能性水装置

機能性水装置:超純水に水素やオゾンなどのガスを吹き込み、洗浄能力を高める機能性水をつくります。

機能性水装置

超純水に水素やオゾンを溶解させ、微粒子や有機物の除去性能を高めた装置です。電子産業分野の各種洗浄用途に最適です。

製品紹介 特長 流量
KHOW SYSTEM HS型KHOW SYSTEM HS型
(水素水製造装置)
ウエットプロセスに革命!抜群の微粒子除去効果。 10~40L/min
KHOW SYSTEM OS型KHOW SYSTEM OS型
(オゾン水製造装置)
ウエットプロセスに革命!抜群の有機物除去効果。 10~20L/min

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機能性水装置に関連する水処理の用語について

■ 機能性水とは

超純水に様々なガスを溶解させ、特殊な機能を持たせた水のことで、主に半導体製造工程のウェットプロセスにおいて使用されます。

■ 水素水とは

超純水に水素ガスを溶解させた水のことで、シリコンウェハー上の微粒子の除去を目的として使用されます。

■ オゾン水とは

超純水にオゾンガスを溶解させた水のことで、シリコンウェハー上の有機物の除去を目的として使用されます。