超純水装置

超純水装置:給水からイオンや微粒子、生菌、有機物、ガスなどを高いレベルで除去、限りなく理論純水に近い水をつくります。

超純水装置

原水に応じて超純水がつくれる超純水装置をワンユニット化。必要水量に応じたラインナップを多彩に取り揃えています。

製品紹介 特長 流量
マクエース UP-R型マクエース UP-R型
(超純水製造装置)
小流量タイプのコンパクトな超純水装置。水道水から純度の高い超純水を製造可能。 300~2400L/Hr
クリアクア S型クリアクア S型
(超純水製造装置)
前処理からサブシステムまでをユニット化した超純水装置。 10~25m3/Hr
マクエース KC-H型マクエース KC-H型
(サブシステム)
純水から超純水を製造するサブシステムの標準ユニット。 1~20m3/Hr

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超純水装置に関連する水処理の用語について

■ 純水とは

純水は、RO膜[逆浸透膜]やイオン交換樹脂を使って作ります。純度は、RO膜[逆浸透膜]に比べイオン交換樹脂で処理した方が高く、RO膜[逆浸透膜]では、0.5~1mS/m程度、イオン交換樹脂では0.1~0.2mS/m程度の純水が作れます。
>> 詳しい技術解説はこちら(水処理教室:純水とは)

■ 超純水とは

超純水とはRO膜(逆浸透膜)やイオン交換樹脂などで処理された純水から、ごく微量の溶存酸素や微粒子、有機物、生菌などを除去した水のことで、主に半導体製造などの電子産業分野で使用される非常に純度の高い水です。
>> 詳しい技術解説はこちら(水処理教室:純水よりはるかに純度が高い超純水)
>> 詳しい技術解説はこちら(水処理教室:超純水製造装置のしくみ)

■ サブシステムとは

サブシステムとは、超純水製造装置のことで、熱交換器や、紫外線殺菌装置(UVst)、紫外線酸化装置(L-UVox)、デミナー(イオン交換器)、UF膜などで構成されるものが一般的です。ユースポイントで使用されなかった超純水はサブシステムの入口に戻され、循環処理されます。
>> 詳しい技術解説はこちら(水処理教室:超純水製造装置サブシステム)